Единицы длины в нанометровом диапазоне
Создан и эксплуатируется с 2009 года.
Метрологические характеристики:
- диапазон измерений от 7 до 1350 нм
- пределы допускаемой абсолютной погрешности Δ = ± (0,5-10) нм.
В эталон входят :
а) меры ширины и высоты (решетки) TGZ01, TGZ02,TGZ03,TGZ04,TGZ11,TGF11,TGX01,
TGX11, TGG01 с номиальной высотой от 18 до 1350нм, производитель-фирма «Mikromasch», Россия-Эстония.
 |
|
| Решетки TGX01/TGX11 | Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе |
Основные метрологические характеристики решеток TGX01/TGX11
|
Наименование характеристики |
Значение для типа меры | |
| TGX01 | TGX11 | |
| Высота ступеньки, мм | 1,0 | 2,0 |
| Шаг | 3,0 мкм ± 8нм | 10,0 мкм ± 8нм |
| Активная площадь, мм | 2х2 | |
| Радиус закругления ребра, не более, нм | 5 | |
| Размер чипа, мм | 5х5х0,45 | |
 |
|
| Решетка TGF11 | Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе |
Основные метрологические характеристики решетки TGF11
| Наименование характеристики | Значение |
| Активная площадь, мм | 3х3 |
| Угол наклона ребра | 54°44´ |
| Шаг | 10,0 мкм ± 5нм |
| Размер чипа, мм | 5х5х0,45 |
 |
|
| Решетка TGG01 | Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе |
Основные метрологические характеристики решетки TGG01
| Наименование характеристики | Значение |
| Активная площадь, мм | 3х3 |
| Радиус закругления ребра, не более, нм | 10 |
| Шаг | 3мкм ± 5нм |
| Угол при вершине | 70° |
| Размер чипа, мм | 5х5х0,45 |
 |
|
| Решетки TGZ01/TGZ02/TGZ03/TGZ04/TGZ11 | Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе |
Основные метрологические характеристики решеток TGZ
| Тип меры | Высота ступени,мм | Шаг,мкм |
| TGZ01 | 18-26±1,0 | 3,0 |
| TGZ02 | 98-104±2 | 3,0 |
| TGZ03 | 496-503±6 | 3,0 |
| TGZ04 | 1000±25 | 3,0 |
| TGZ11 | 1350±30 | 10,0 |
| Активная площадь, мм | 3х3 | |
| Размер чипа,мм | 5х5х0,45 | |
б) меры высоты ступени компоновки А с номинальной высотой 7,2 нм, 20,9 нм, 69,0 нм, 295,4 нм, 781,4 нм, производитель – Физико-технический институт РТВ, Германия
 |
 |
| Изображение мер высоты ступени компоновки А | Мера высоты ступени компоновки А |
Метрологические характеристики меры высоты ступени компоновки А
| Номинальная высота меры, нм |
Неопределенность измерения высоты меры U(k=2,p=95%), нм |
Размер чипа |
| 7,2 | 1,0 |
5х5 |
| 20,9 | 0,7 | |
| 69,0 | 0,9 | |
| 295,4 | 1,0 | |
| 781,4 | 1,4 |
в) мера ширины линий с шириной линии от 0.5 до 20 мкм, производитель - концерн «Планар»
 |
 |
| Изображение меры ширины линии | Изображение модуля меры |
Метрологические характеристики меры ширины линий
| Наименование характеристики | Значение |
| Размер тестовой зоны, мм | 60 × 60 |
| Ширина линий (в проходящем и отраженном свете), мкм | 0,5; 0,6; 0,7; 0,8; 0,9; 1,0; 1,5; 2,0; 5,0; 10,0; 20,0; 30,0 |
| Ширина шага линий, мкм | 2; 3; 4; 5; 6 |
| Ширина линий и промежутка, мкм | 5; 15; 20; 30; 40; 70 |
| Предельное отклонение размеров модуля и расположение элементов в модуле, мкм | ± 1,0 |
| Предельное отклонение размеров, мкм: до 1 мкм до 2 мкм до 5 мкм до 30 м |
±0,1 ±0,2 ±0,5 ±1 |
| Неровность края для линий и штриховв зоне измерения, мкм | 0,1 |
Изображение объект-микрометр ОМО (слево) и ОМП(справа)
Метрологические характеристики объект-микрометров
| Наименование характеристик | Значение |
| Длина всей шкалы, мм | 1 ± 0,003 |
| Расстояние между серединами любых десяти делений, мм | 0,1 ± 0,002 |
| Ширина штрихов шкалы, мм | 0,002 ± 0,001 |
| Смещение шкалы относительно центра пластинки, не более, мм | 1,0 |
| Отклонение от параллельности штрихов относительно оправы, не более, мм | 0,05 |
Эталон единицы длины в нанометровом диапазоне применяется для:
- хранения и передачи единицы длины в нанометровом диапазоне рабочим средствам измерений, применяемым в народном хозяйстве, с целью обеспечения единства и достоверности измерений;
- калибровки сканирующих зондовых атомно-силовых и электронных растровых измерительных микроскопов.
Эталон единицы длины в нанометровом диапазоне хранится в производственно-исследовательском отделе измерений геометрических величин БелГИМ, г. Минск, Старовиленский тракт, 93. Контактный телефон: 239-23-38, 233-35-82 (Демидова А.Е., Пинчук А.П.).