Создание комплекта эталонных мер для линейных измерений в нанометровом диапазоне
2009-03-20
С 2009 года в Республике Беларусь будет проводиться метрологический контроль средств измерений, применяемых для измерения линейных размеров в нанометровом диапазоне. Пристальное внимание к данному виду деятельности объясняется, в первую очередь, тем, что Международное бюро мер и весов обозначило нанометрологию одним из важнейших направлений на 2009-2012 гг.
Поэтому основной задачей по развитию нанометрологии в РБ на 2011-2015 гг. является создание национального эталона единицы длины в нанометровом диапазоне на основе лазерного интерферометрического 3D-измерителя наноперемещений. Надо отметить, что необходимость создания национального эталона единицы длины в нанометровом диапазоне продиктована не только требованиями времени, но и практическими соображениями. В ходе предварительных исследований и анкетирования, проведенных БелГИМ в 2008 г., выяснилось, что на 26 предприятиях Беларуси применяется 26 сканирующих зондовых атомно-силовых, пять электронных растровых измерительных микроскопов и один просвечивающий микроскоп. Все они никогда не подвергались метрологическому контролю, но, тем не менее, применяются для различных исследований в НИИ НАНБ и для решения различных технологических задач на предприятиях. По результатам анкетирования все участники, приславшие сведения о микроскопах, заинтересованы в проведении их метрологического контроля.
На протяжении 2008-2009 гг. в БелГИМ в рамках ГНТП подпрограммы «Разработка и изготовление эталонов Беларуси, уникальных приборов и установок для научных исследований» НТП «Эталоны Беларуси» велась работа по созданию комплекта эталонных мер для линейных измерений в нанометровом диапазоне. В результате анализа метрологического обеспечения измерения линейных размеров в нанометровом диапазоне была определена оптимальная комплектация эталонных мер, необходимая для проведения метрологического контроля микроскопов и создан комплект эталонных мер. Состав созданного в БелГИМ комплекта эталонных мер для линейных измерений в нанометровом диапазоне и их метрологические характеристики полностью соответствуют техническому заданию, что подтверждается результатами калибровки.
В процессе работы над созданием комплекта эталонных мер были разработаны 2 методики калибровки: МРП МК 100055197.112-2008 «Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Типовая методика калибровки» и МРП МК 100055197.111-2008 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Типовая методика калибровки» и на безвозмездной основе проведена калибровка двух микроскопов для предприятий республики.