У ВАС отключен Java Script. Полноценное функционирование сайта НЕ ОБЕСПЕЧЕНО

+375 17 288-09-38 (Факс)
info@belgim.by

Единицы длины в нанометровом диапазоне

 

Создан и эксплуатируется с 2009 года.

 

Метрологические характеристики:

  • диапазон измерений от 7 до 1350 нм
  • пределы допускаемой абсолютной погрешности Δ = ± (0,5-10) нм.

В эталон входят :

а) меры ширины и высоты (решетки) TGZ01, TGZ02,TGZ03,TGZ04,TGZ11,TGF11,TGX01,

TGX11, TGG01 с номиальной высотой от 18 до 1350нм, производитель-фирма «Mikromasch», Россия-Эстония.

Решетки TGX01/TGX11 Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе

Основные метрологические характеристики  решеток TGX01/TGX11

Наименование характеристики

Значение для типа меры
TGX01 TGX11
Высота ступеньки, мм 1,0 2,0
Шаг 3,0 мкм ± 8нм 10,0 мкм ± 8нм
Активная площадь, мм 2х2
Радиус закругления ребра, не более, нм 5
Размер чипа, мм 5х5х0,45

 

Решетка TGF11 Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе

Основные метрологические характеристики решетки TGF11

Наименование характеристики Значение
Активная площадь, мм 3х3
Угол наклона ребра 54°44´
Шаг 10,0 мкм ± 5нм
Размер чипа, мм 5х5х0,45

 

Решетка TGG01 Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе

 

Основные метрологические характеристики решетки TGG01

Наименование характеристики Значение
Активная площадь, мм 3х3
Радиус закругления ребра, не более, нм 10
Шаг 3мкм ± 5нм
Угол при вершине 70°
Размер чипа, мм 5х5х0,45

 

 Решетки TGZ01/TGZ02/TGZ03/TGZ04/TGZ11 Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе

Основные метрологические характеристики решеток TGZ

Тип меры Высота ступени,мм Шаг,мкм
TGZ01 18-26±1,0 3,0
TGZ02 98-104±2 3,0
TGZ03 496-503±6 3,0
TGZ04 1000±25 3,0
TGZ11 1350±30 10,0
Активная площадь, мм 3х3
Размер чипа,мм 5х5х0,45

б)  меры высоты ступени компоновки А с номинальной высотой 7,2 нм,        20,9 нм, 69,0 нм, 295,4 нм, 781,4 нм,  производитель – Физико-технический институт РТВ, Германия

 Изображение мер высоты ступени компоновки А Мера высоты ступени компоновки А

Метрологические характеристики меры высоты ступени компоновки А

 

Номинальная высота меры, нм

Неопределенность измерения высоты

меры U(k=2,p=95%), нм

Размер чипа
7,2 1,0

 

5х5

20,9 0,7
69,0 0,9
295,4 1,0
781,4 1,4

в) мера ширины линий с шириной линии от 0.5 до 20 мкм, производитель - концерн «Планар»

Изображение меры ширины линии Изображение модуля меры

Метрологические характеристики меры ширины линий

Наименование характеристики Значение
Размер тестовой зоны, мм 60 × 60
Ширина линий (в проходящем и отраженном свете), мкм 0,5; 0,6; 0,7; 0,8; 0,9; 1,0; 1,5; 2,0; 5,0; 10,0; 20,0; 30,0
Ширина шага линий, мкм 2; 3; 4; 5; 6
Ширина линий и промежутка, мкм 5; 15; 20; 30; 40; 70
Предельное отклонение размеров модуля и расположение элементов в модуле, мкм ± 1,0
Предельное отклонение размеров, мкм:
до 1 мкм
до 2 мкм
до 5 мкм
до 30 м

±0,1
±0,2
±0,5
±1
Неровность края для линий и штриховв зоне измерения, мкм    0,1

Изображение объект-микрометр ОМО (слево) и ОМП(справа)

 

Метрологические характеристики объект-микрометров

Наименование характеристик Значение
Длина всей шкалы, мм 1 ± 0,003
Расстояние между серединами любых десяти делений, мм 0,1 ± 0,002
Ширина штрихов шкалы, мм 0,002 ± 0,001
Смещение шкалы относительно центра пластинки, не более, мм 1,0
Отклонение от параллельности штрихов относительно оправы, не более, мм 0,05

Эталон единицы длины в нанометровом диапазоне применяется для:

  •  хранения  и передачи единицы длины в нанометровом диапазоне рабочим средствам измерений, применяемым в народном хозяйстве, с целью обеспечения  единства и достоверности измерений;
  •  калибровки сканирующих зондовых атомно-силовых и электронных растровых измерительных микроскопов.

Эталон единицы длины в нанометровом диапазоне  хранится в производственно-исследовательском отделе измерений геометрических величин БелГИМ, г. Минск, Старовиленский тракт, 93. Контактный телефон: 239-23-38, 233-35-82 (Демидова А.Е., Пинчук А.П.).

Печать
Предпросмотр к печати
Метрология Эталоны Реестры Испытания Сертификация и декларирование Административные процедуры О БелГИМ Контакты Услуги